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鑫臺銘靜電吸盤｜靜電卡盤制備——真空伺服熱壓機：---鑫臺銘提供。鑫臺銘---新智造走向世界！致力于3C電子、新能源、新材料產(chǎn)品成型及生產(chǎn)工藝解決方案。

靜電吸盤(簡稱ESC，E-chuck（Electrostatic Chuck）)是一種適用于真空環(huán)境或等離子體環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體，利用靜電吸附原理實現(xiàn)超薄晶圓片的平整均勻夾持，此外亦發(fā)揮散熱作用，運用靜電吸盤的導(dǎo)熱系統(tǒng)和通氦氣的方式導(dǎo)出晶圓加工過程中產(chǎn)生的熱量。靜電吸盤廣泛應(yīng)用于刻蝕、薄膜沉積、離子注入等高端半導(dǎo)體制造裝備，其使用壽命一般不超過兩年，屬于消耗品，替換量大。

靜電吸盤的基本原理是利用異種電荷相互吸引的作用力實現(xiàn)對晶圓片的吸附，其主體結(jié)構(gòu)為三明治結(jié)構(gòu)，分為介電層（電介質(zhì)層）、電極層和基底層。靜電吸盤的制備難點在于對原料性能要求高、后工序處理難度大、產(chǎn)品精度以及微觀誤差接受率較低、生產(chǎn)環(huán)境清潔要求苛刻。高端靜電吸盤制備的關(guān)鍵在于對介電層、電極層的制備及功能層之間的連接工藝。

鑫臺銘專注于精密壓裝技術(shù)，致力于半導(dǎo)體靜電卡盤真空熱壓貼合、流延生瓷片疊壓、以及陶瓷機構(gòu)件精密伺服粉末成型設(shè)備解決方案，獲得實用新型、發(fā)明專利以及軟著等近百項，實現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)口設(shè)備水平，設(shè)備主要應(yīng)用于靜電卡盤、陶瓷粉末、生瓷片、加熱盤、劈刀等配件加工，與國內(nèi)多家客戶長期合作。

半導(dǎo)體靜電卡盤真空熱壓機是一種結(jié)合靜電吸附、高溫加壓與真空環(huán)境的先進(jìn)制造工藝，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝等領(lǐng)域。

真空伺服熱壓機：

1.伺服電缸和伺服電機，高精度定位，運動平穩(wěn)，具有受力均勻可靠的優(yōu)點。

2.可實時精確控制滑塊位置、速度和壓力，位置重復(fù)精度可達(dá)±0.01mm。

3.控制系統(tǒng)元件精度高、可靠性好，抗干擾能力強、伺服系統(tǒng)響應(yīng)速度快。

4.溫度控制：采用PID算法，加熱板溫差±3℃，避免材料過熱或固化不均。

5.含抽真空功能，真空度達(dá)到100Pa。

真空伺服熱壓機：

1.柱塞缸和伺服電機，高精度定位，運動平穩(wěn)，具有受力均勻可靠的優(yōu)點。

2.可實時精確控制滑塊位置、速度和壓力，位置重復(fù)精度可達(dá)±0.15mm。

3.控制系統(tǒng)元件精度高、可靠性好，抗干擾能力強、伺服系統(tǒng)響應(yīng)速度快。

4.溫度控制：采用PID算法，加熱板溫差±3℃，避免材料過熱或固化不均。

5.含抽真空功能，真空度達(dá)到100Pa。

設(shè)備特點：

1、設(shè)備：伺服壓力機、熱壓成型機、真空熱壓機等。

2、壓力：1T-500T，臺面:350*350或530*530，開口和行程可以按照產(chǎn)品要求定制。

3、驅(qū)動：采用伺服電缸或者柱塞缸，高精度定位，運動平穩(wěn)，具有受力均勻、可靠等優(yōu)點。

4、高精度與可控性：可實時精確控制滑塊位置、速度和壓力，位置重復(fù)精度可達(dá)±0.01mm。

5、控制系統(tǒng)先進(jìn)：控制系統(tǒng)元件精度高、可靠性好，抗干擾能力強、伺服系統(tǒng)響應(yīng)速度快。

6、溫度控制：采用PID算法，加熱板溫差+3℃，避免材料過熱或固化不均。

7、PLC控制：可編程，對行程、壓力、溫度、真空度、分段時間的參數(shù)設(shè)置。

8、應(yīng)用：工藝適應(yīng)性廣，可配抽真空、機械手、半自動進(jìn)出料、定位等裝置。

應(yīng)用場景：

靜電卡盤、陶瓷粉末、生瓷片、加熱盤等半導(dǎo)體配件。

我國該領(lǐng)域內(nèi)，先進(jìn)制程用靜電吸盤量產(chǎn)能力不足、仍主要處于研發(fā)或客戶評價的階段，靜電吸盤整體國產(chǎn)化率不足10%，僅華卓精科、珂瑪科技、君原電子等極少數(shù)企業(yè)實現(xiàn)了靜電吸盤的小批量生產(chǎn)銷售。全球靜電吸盤市場呈現(xiàn)寡頭壟斷的競爭格局，形成該格局的重要原因之一系美國、日本在半導(dǎo)體設(shè)備市場的較高占有率，協(xié)同帶動了其本土廠商的靜電吸盤的壟斷局面。